大連派立特2023年全新研發(fā)生產的大功率中頻磁控濺射電源,此前130KW等同系列多款電源因諸多性能優(yōu)勢,在業(yè)內多個大牌廠商得到廣泛應用,經過多年口碑佐證,是公認的高穩(wěn)定性電源!
在技術的不斷提升下,本電源目前最大功率可達200KW,極限功率可到250KW,且可做到持續(xù)生產不停機。
本電源支持恒流與恒功率兩種工作模式切換使用,同具有理想的陡降特性以及極為靈敏的滅弧保護功能。
主要性能優(yōu)勢
1. 良好的穩(wěn)定性,故障率極低。
2.良好的陰極濺射,可靠濺射各種金屬非金屬靶材
3.極高的利用效率,與某些靶材配合,濺射功率可達120KW
4.微秒級滅弧,徹底杜絕打火造成次品的現象
5.電源效率高,輸入輸出轉化效率平均92%
Main Performance Advantages:
1. Excellent stability with an extremely low failure rate.
2. Effective cathode sputtering, reliably sputtering various metallic and non-metallic target materials.
3. Extremely high utilization efficiency; when paired with certain target materials, sputtering power can reach 120KW.
4. Microsecond arc extinguishing, completely eliminating the occurrence of defects caused by arcing.
5. High power supply efficiency, with an average input-output conversion efficiency of 92%.
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